Меню
Разработки
Разработки  /  Физика  /  Разное  /  11 класс  /  Особенности формирования тонкопленочного покрытия на диэлектрической подложке (статья)

Особенности формирования тонкопленочного покрытия на диэлектрической подложке (статья)

Статья познакомит с механизмом формирования тонкой пленки.
01.05.2016

Описание разработки

Особые условия формирования тонкопленочных покрытий существенно изменяют физико-технические свойства материала в сравнении с массивным образцом.

Способов получения тонких пленок с заданными свойствами достаточно много и все они могут быть отнесены к химическим, физико-химическим и физическим, вакуумным и безвакуумным методам.

Процесс конденсации заключается в переходе газовой фазы в жидкое или твердое состояние на подложку при условии, что при данной температуре парциальное давление газовой фазы над подложкой равно или больше равновесного давления паров вещества ранее осевшей на подложку.

Обладая собственной энергией активации, адсорбированные атомы притягиваются между собой, образуя сначала двумерные, а затем трехмерные зародыши.

Особенности формирования тонкопленочного покрытия на диэлектрической подложке (статья)

Этому процессу способствует миграция адсорбированных отдельных атомов по поверхности подложки, которая сильно зависит от свойств поверхности подложки и ее температуры.

Однако при высокой температуре подложки увеличивается вероятность отражения атомов паровой фазы и реиспарения отдельных атомов, и даже мелких зародышей с низким коэффициентом прилипания.

Более того, атомы с высокой кинетической энергией, больше чем энергия десорбции (около 0,5 эВ) могут просто отразиться и не участвовать в образовании пленки [1].

Решетка нагретой подложки имеет собственную колебательную энергию, и адсорбированные атомы могут или потерять свою кинетическую энергию, или реиспариться в результате резонансных эффектов [2].

Количество адсорбированных атомов, пришедших в равновесие с подложкой, зависит от интенсивности поступления атомов из паровой фазы.

Весь материал - в документе.

-70%
Курсы повышения квалификации

Интерактивные методы в практике школьного образования

Продолжительность 72 часа
Документ: Удостоверение о повышении квалификации
4000 руб.
1200 руб.
Подробнее
Скачать разработку
Сохранить у себя:
Особенности формирования тонкопленочного покрытия на диэлектрической подложке (статья) (1.14 MB)
0
191
20

Комментарии 0

Чтобы добавить комментарий зарегистрируйтесь или на сайт